Si3N4 - гэта новы тып высокатэмпературнай структуры керамічнага матэрыялу з выдатнымі хімічнымі ўласцівасцямі, добрай устойлівасцю да тэрмічнага ўдару, нізкатэмпературнай паўзучасцю, не змочвае рознымі расплавамі каляровых металаў, высокай цвёрдасцю, самазмазкай, шырока выкарыстоўваецца ў рэжучы інструмент, металургія, авіяцыя, хімічная і іншыя галіны прамысловасці.

Нітрыд крэмнія таксама можна ўжываць для тонкаплёнкавых сонечных элементаў.Пасля таго, як плёнка нітрыду крэмнія пакрыта метадам PECVD, можна не толькі паменшыць адлюстраванне падаючага святла, але таксама ў працэсе нанясення плёнкі нітрыду крэмнія атамы вадароду прадукту рэакцыі трапляюць у плёнку нітрыду крэмнія і крамянёвая пласціна для пасівацыі Роля дэфектаў.