Si3N4 ເປັນປະເພດໃຫມ່ຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກໂຄງສ້າງອຸນຫະພູມສູງທີ່ມີຄຸນສົມບັດທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, creep ອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ບໍ່ wetting ກັບຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງໂລຫະທີ່ບໍ່ແມ່ນເຫຼັກ melt, ຄວາມແຂງສູງ, ການຫລໍ່ລື່ນຕົນເອງ, ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ. ເຄື່ອງມືຕັດ, ໂລຫະ, ການບິນ, ເຄມີແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ.

ຊິລິໂຄນ nitride ຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ກັບຈຸລັງແສງຕາເວັນບາງໆ.ຫຼັງຈາກທີ່ແຜ່ນ silicon nitride ໄດ້ຖືກ plated ໂດຍວິທີການ PECVD, ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດສະທ້ອນແສງຂອງເຫດການໄດ້ຫຼຸດລົງ, ແຕ່ຍັງ, ໃນຂະບວນການ deposition ຂອງແຜ່ນ silicon nitride, ປະລໍາມະນູ hydrogen ຂອງຜະລິດຕະພັນຕິກິຣິຍາເຂົ້າໄປໃນແຜ່ນ silicon nitride ແລະ. wafer silicon ກັບ passivate ພາລະບົດບາດຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ.