CMP нь цахиурын давхар ислийн нано бөөмс Nano SiO2-г химийн механик өнгөлгөөнд ашигласан

Товч тодорхойлолт:

Цахиурын нано нунтаг нь сайн тархах, механик үрэлт, өндөр бат бэх, наалдамхай, сайн хальс үүсгэх, өндөр нэвчилт, цаг агаарын болон элэгдэлд тэсвэртэй, CMP-ийн сайн өнгөлгөөний материал юм.Цахиурын давхар ислийн нано бөөмс/ Nano SiO2 нь химийн механик өнгөлгөөнд сайн ажилладаг.


Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

CMP нь цахиурын давхар ислийн нано бөөмс Nano SiO2-г химийн механик өнгөлгөөнд ашигласан

Үзүүлэлт:

Нэр Цахиурын давхар исэл/цахиур/цахиурын исэл Нано нунтаг
Томъёо SiO2
Төрөл Гидрофобик, гидрофил
Бөөмийн хэмжээ 20нм
Цэвэр байдал 99.8%
Гадаад төрх Цагаан нунтаг
Багц Нэг уут/баррель тутамд 20кг/30кг
Боломжит хэрэглээ Усны хамгаалалттай бүрэх, өнгөлөх, резин, керамик, бетон, будаг, өөрөө цэвэрлэх, бактерийн эсрэг, катализатор, холбогч, тосолгооны материал гэх мэт.

Тодорхойлолт:

Цахиурын давхар ислийн нано нунтагыг яагаад CMP-д ашиглаж болох вэ?

Нано-цахиур нь харьцангуй бага өртөгтэй, сайн тархах чадвартай, механик үрэлттэй, өндөр бат бэх наалддаг, сайн хальс үүсгэдэг, өндөр нэвчилттэй, цаг агаарын болон элэгдэлд тэсвэртэй, жижиг ширхэгтэй, хатуулагтай.Мөн дунд зэргийн, зуурамтгай чанар багатай, наалдац багатай, өнгөлгөөний дараа цэвэрлэхэд хялбар давуу талтай.Тиймээс энэ нь маш сайн гүйцэтгэлтэй CMP технологийн өнгөлгөөний материал юм.

SiO2 нано тоосонцор нь ихэвчлэн металл, индранил, нэг талст цахиур, шилэн керамик, гэрлийн чиглүүлэгч хоолой болон бусад гадаргууг нарийн өнгөлөхөд ашиглагддаг.Нано цахиурын оксидын хэмжээ нь 100 нм-ээс бага бөгөөд энэ нь том гадаргуутай, өндөр тархалт, нэвчилттэй байдаг тул өнгөлсөн бэлдэцийн гадаргуу дээрх гэмтлийн давхарга маш бага байдаг;Үүнээс гадна цахиурын нано бөөмийн хатуулаг нь цахиурын хавтантай төстэй.Тиймээс энэ нь ихэвчлэн хагас дамжуулагч цахиур хавтан өнгөлгөөний ашиглаж байна.

 

CMP хэрэглээнд нано SiO2 нунтагны давуу талууд:

1. Өнгөлгөө нь SiO2 болон бусад материалын нэгэн жигд нано хэсгүүдийг ашиглан боловсруулсан хэсгүүдэд физик гэмтэл учруулахгүй, хурд нь хурдан байдаг.Нэг төрлийн, том ширхэгтэй коллоид цахиур зэрэг тоосонцорыг ашиглах нь өндөр хурдтай өнгөлгөөний зорилгод хүрч чадна.

2. Тоног төхөөрөмжийг зэврүүлэхгүй, аюулгүй ажиллагааны өндөр үзүүлэлттэй.

3. Өндөр тэгш нунтаглалтын боловсруулалтад хүрэх.

4. Өнгөлгөөний дараа гадаргуугийн зураасыг үр дүнтэй багасгаж, өнгөлсөний дараа гадаргуугийн барзгаржилтыг багасгана.

Хадгалах нөхцөл:

Цахиурын давхар исэл (SiO2) нано нунтагыг битүүмжилсэн, гэрэл, хуурай газар хадгална.Өрөөний температурыг хадгалахад тохиромжтой.

SEM:

TEM-SiO2 тос

 

Багц FYI:

нано SiO2 Бөөн хэмжээний багц


  • Өмнөх:
  • Дараачийн:

  • Бидэнд мессежээ илгээнэ үү:

    Энд мессежээ бичээд бидэнд илгээгээрэй

    Бидэнд мессежээ илгээнэ үү:

    Энд мессежээ бичээд бидэнд илгээгээрэй