சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு நானோ பவுடரை CMPக்கு ஏன் பயன்படுத்தலாம்?

நானோ-சிலிக்கா ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த விலை, மற்றும் நல்ல சிதறல், இயந்திர சிராய்ப்பு, அதிக வலிமை மற்றும் ஒட்டுதல், நல்ல பட உருவாக்கம், அதிக ஊடுருவல், அதிக வானிலை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு, சிறிய துகள் அளவு, கடினத்தன்மை.இது மிதமான, குறைந்த பாகுத்தன்மை, குறைந்த ஒட்டுதல் மற்றும் மெருகூட்டப்பட்ட பிறகு எளிதாக சுத்தம் செய்தல் போன்ற நன்மைகளையும் கொண்டுள்ளது.இதனால் இது சிறந்த செயல்திறன் கொண்ட CMP தொழில்நுட்பத்திற்கான மெருகூட்டல் பொருளாகும்.

SiO2 நானோ துகள் உலோகம், சபையர், மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான், கண்ணாடி-மட்பாண்டங்கள், ஒளி வழிகாட்டி குழாய் மற்றும் பிற மேற்பரப்புகளின் துல்லியமான மெருகூட்டலுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.நானோ சிலிக்கான் ஆக்சைட்டின் அளவு 100nm க்குக் கீழே உள்ளது, இது ஒரு பெரிய குறிப்பிட்ட பரப்பளவு, அதிக பரவல் மற்றும் ஊடுருவக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, எனவே பளபளப்பான பணிப்பொருளின் மேற்பரப்பில் சேத அடுக்கு மிகவும் சிறியது;கூடுதலாக, சிலிக்கா நானோ துகள்களின் கடினத்தன்மை சிலிக்கான் செதில்களைப் போன்றது.எனவே, குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் செதில்களை மெருகூட்டுவதற்கும் இது பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

CMP பயன்பாட்டில் நானோ SiO2 தூளின் நன்மைகள்:

1. மெருகூட்டல் என்பது SiO2 மற்றும் பிற பொருட்களின் சீரான நானோ துகள்களின் பயன்பாடு ஆகும், இது பதப்படுத்தப்பட்ட பகுதிகளுக்கு உடல் சேதத்தை ஏற்படுத்தாது, மேலும் வேகம் வேகமாக இருக்கும்.சீரான மற்றும் பெரிய துகள் அளவு கொண்ட கூழ் சிலிக்கா போன்ற துகள்களின் பயன்பாடு அதிவேக மெருகூட்டலின் நோக்கத்தை அடைய முடியும்.

2. இது உபகரணங்களை சிதைக்காது மற்றும் அதிக பாதுகாப்பு செயல்திறன் கொண்டது.

3. உயர் தட்டையான அரைக்கும் செயலாக்கத்தை அடையுங்கள்.

4. மெருகூட்டிய பின் மேற்பரப்பு கீறல்களை திறம்பட குறைக்கவும் மற்றும் மெருகூட்டிய பின் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை குறைக்கவும்.