1. იგი გამოიყენება როგორც ობის გამომშვები აგენტი პოლიკრისტალური სილიციუმის და ერთკრისტალური სილიციუმის კვარცის ჭურჭელისთვის.ხელს უშლის ჭურჭლის შიდა კედელს გამდნარ სილიკონის მასალზე მიბმას, ხელს უწყობს ჩამონგრევას და ამავდროულად მოქმედებს როგორც ბარიერის ფენა სილიკონის მასალის სისუფთავის უზრუნველსაყოფად.მზის ხარისხის სილიციუმის ნიტრიდის ფხვნილი გამოიყენება როგორც ობის გამომშვები აგენტი და ასხურება პოლისილიციუმის ინგოტის ჭურჭლის შიდა ზედაპირზე, რაც აუცილებელი პროდუქტია პოლისილიციუმის ღეროების წარმოებისთვის.

2. სილიციუმის ნიტრიდი გამოიყენება როგორც მაღალი ხარისხის ცეცხლგამძლე მასალა.მაგალითად, SI3N4-SIC ცეცხლგამძლე გამოიყენება აფეთქების ღუმელის კორპუსში და სხვა ნაწილებში sic-თან თანამშრომლობით;როდესაც იგი გამოიყენება BN-თან ერთად, როგორც SI3N4-BN მასალა, გამოიყენება ჰორიზონტალური უწყვეტი ჩამოსხმის გამყოფ რგოლში.