পরীক্ষাগুলি দেখায় যে তাপমাত্রা 1300 ℃ এর উপরে থাকলে আলফা ফেজ বিটা ফেজ থেকে স্থিতিশীল কাঠামোতে পরিবর্তিত হয়। SI3N4 এর আলফা থেকে বিটা ফেজ ট্রানজিশনের উপর অ্যাডিটিভের প্রকারের প্রভাব ছিল এবং ফেজ ট্রানজিশনে Y2O3 এর প্রভাব সবচেয়ে বেশি ছিল। স্পষ্ট

আলফা সিলিকন নাইট্রাইড পাউডার সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রার অবাধ্য যৌগগুলির অন্তর্গত, গলনাঙ্ক ছাড়াই, SI3N4 ব্যবহার করে তাপমাত্রা সাধারণত 1300 ° C এর বেশি নয়।

হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড ছাড়া, সিলিকন নাইট্রাইড অন্যান্য সাধারণ অ্যাসিড এবং বেস দ্বারা ক্ষয়প্রাপ্ত হবে না।