أظهرت التجارب أن تغير طور ألفا إلى طور بيتا إلى هيكل مستقر عندما تكون درجة الحرارة أعلى من 1300 درجة مئوية ، وكان لنوع المواد المضافة تأثير على انتقال طور ألفا إلى بيتا من SI3N4 ، وكان تأثير Y2O3 على انتقال الطور هو الأكثر بديهي.

ينتمي مسحوق سيراميك نيتريد ألفا السيليكون إلى المركبات المقاومة للحرارة العالية ، بدون نقطة انصهار ، لا تزيد درجة حرارة SI3N4 بشكل عام عن 1300 درجة مئوية.

بخلاف حمض الهيدروفلوريك ، لن يتآكل نيتريد السيليكون بواسطة الأحماض والقواعد العامة الأخرى.