Experimentele arată că faza alfa se schimbă în faza beta la structură stabilă atunci când temperatura este peste 1300 ℃. Tipul de aditivi a avut o influență asupra tranziției fazei alfa la beta a SI3N4, iar efectul Y2O3 asupra tranziției de fază a fost cel mai mare. evident.

Ceramica pulbere de nitrură de siliciu alfa aparține compușilor refractari la temperatură înaltă, fără punct de topire, temperatura de utilizare a SI3N4 nu este, în general, mai mare de 1300 ° C.

În afară de acidul fluorhidric, nitrura de siliciu nu va fi corodata de alți acizi și baze generale.