Si3N4 es un nuevo tipo de material cerámico de estructura de alta temperatura con excelentes propiedades químicas, buena resistencia al choque térmico, fluencia a baja temperatura, no humectante a una variedad de metales fundidos no ferrosos, alta dureza, autolubricación, ha sido ampliamente utilizado en herramientas de corte, metalurgia, aviación, química y otras industrias.

El nitruro de silicio también se puede aplicar a las células solares de película delgada.Después de que la película de nitruro de silicio se platea mediante el método PECVD, no solo se puede reducir el reflejo de la luz incidente, sino que también, en el proceso de deposición de la película de nitruro de silicio, los átomos de hidrógeno del producto de reacción ingresan a la película de nitruro de silicio y el oblea de silicio para pasivar El papel de los defectos.