Si3N4 è un nuovo tipo di materiale ceramico a struttura ad alta temperatura con eccellenti proprietà chimiche, buona resistenza agli shock termici, scorrimento a bassa temperatura, non bagnante a una varietà di fusione di metalli non ferrosi, elevata durezza, autolubrificazione, è stato ampiamente utilizzato in utensili da taglio, metallurgia, aviazione, chimica e altre industrie.

Il nitruro di silicio può anche essere applicato alle celle solari a film sottile.Dopo che il film di nitruro di silicio è stato placcato con il metodo PECVD, non solo è possibile ridurre il riflesso della luce incidente, ma anche, nel processo di deposizione del film di nitruro di silicio, gli atomi di idrogeno del prodotto di reazione entrano nel film di nitruro di silicio e il wafer di silicio da passivare Il ruolo dei difetti.