Si3N4 là một loại vật liệu gốm cấu trúc nhiệt độ cao mới có đặc tính hóa học tuyệt vời, khả năng chống sốc nhiệt tốt, độ rão ở nhiệt độ thấp, không làm ướt nhiều loại kim loại màu nóng chảy, độ cứng cao, tự bôi trơn, đã được sử dụng rộng rãi trong dụng cụ cắt, luyện kim, hàng không, hóa chất và các ngành công nghiệp khác.

Silicon nitride cũng có thể được áp dụng cho pin mặt trời màng mỏng.Sau khi màng silicon nitride được mạ bằng phương pháp PECVD, không chỉ có thể giảm sự phản xạ của ánh sáng tới mà còn trong quá trình lắng đọng của màng silicon nitride, các nguyên tử hydro của sản phẩm phản ứng đi vào màng silicon nitride và wafer silicon để thụ động Vai trò của khuyết tật.