Si3N4 — це новий тип високотемпературної структури керамічного матеріалу з чудовими хімічними властивостями, хорошою стійкістю до термічного удару, низькотемпературною повзучістю, незмочуванням до різноманітних розплавів кольорових металів, високою твердістю, самозмащенням, широко використовується в ріжучий інструмент, металургійна, авіаційна, хімічна та інші галузі промисловості.

Нітрид кремнію також можна застосовувати для тонкоплівкових сонячних елементів.Після покриття плівки нітриду кремнію методом PECVD не тільки можна зменшити відбиття падаючого світла, але також у процесі осадження плівки нітриду кремнію атоми водню продукту реакції потрапляють у плівку нітриду кремнію та кремнієві пластини для пасивації Роль дефектів.