Si3N4 نوع جدیدی از مواد سرامیکی ساختار درجه حرارت بالا با خواص شیمیایی عالی، مقاومت در برابر شوک حرارتی خوب، خزش دمای پایین، غیر خیس شدن به انواع مذاب فلزات غیر آهنی، سختی بالا، خود روانکاری، به طور گسترده ای در ابزارهای برش، متالورژی، هوانوردی، شیمیایی و سایر صنایع.

نیترید سیلیکون را می توان برای سلول های خورشیدی لایه نازک نیز اعمال کرد.پس از آبکاری فیلم نیترید سیلیکون به روش PECVD، نه تنها می توان بازتاب نور فرودی را کاهش داد، بلکه در فرآیند رسوب فیلم نیترید سیلیکون، اتم های هیدروژن محصول واکنش وارد فیلم نیترید سیلیکون می شود و ویفر سیلیکونی برای غیرفعال کردن نقش عیوب.