ለምን የሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ናኖ ዱቄት ለሲኤምፒ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል?

ናኖ-ሲሊካ በአንፃራዊነት ዝቅተኛ ወጭ ፣ እና ጥሩ መበታተን ፣ መካኒካዊ መቧጠጥ ፣ ከፍተኛ ጥንካሬ እና ማጣበቅ ፣ ጥሩ የፊልም ምስረታ ፣ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ችሎታ ፣ ከፍተኛ የአየር ሁኔታ እና የመልበስ መቋቋም ፣ አነስተኛ ቅንጣት ፣ ጥንካሬ።በተጨማሪም መጠነኛ, ዝቅተኛ viscosity, ዝቅተኛ የማጣበቅ, እና ከጽዳት በኋላ ቀላል የማጽዳት ጥቅሞች አሉት.ስለዚህ ለሲኤምፒ ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም ያለው የማጣሪያ ቁሳቁስ ነው።

የሲኦ2 ናኖ ቅንጣት ብዙውን ጊዜ ለብረት፣ ሰንፔር፣ ሞኖክሪስተላይን ሲሊከን፣ ብርጭቆ-ሴራሚክስ፣ የመብራት መመሪያ ቱቦ እና ሌሎች ንጣፎችን በትክክል ለማጣራት ያገለግላል።የናኖ ሲሊከን ኦክሳይድ መጠን ከ 100nm በታች ነው ፣ እሱም ትልቅ የተወሰነ ወለል ያለው ፣ ከፍተኛ dispersibility እና permeability ያለው ፣ ስለሆነም በተወለወለው workpiece ላይ ያለው ጉዳት ንብርብር እጅግ በጣም ትንሽ ነው ።በተጨማሪም የሲሊካ ናኖፓርቲል ጥንካሬ ከሲሊኮን ቫፈርስ ጋር ተመሳሳይ ነው.ስለዚህ, ብዙውን ጊዜ ሴሚኮንዳክተር የሲሊኮን ዋፍሎችን ለማጣራት ያገለግላል.

በ CMP መተግበሪያ ውስጥ የናኖ SiO2 ዱቄት ጥቅሞች

1. ፖሊሽንግ የሲኦ2 እና ሌሎች ቁሳቁሶች ወጥ የሆነ ናኖፓርቲሎች መጠቀም ሲሆን ይህም በተቀነባበሩት ክፍሎች ላይ አካላዊ ጉዳት የማያደርስ ሲሆን ፍጥነቱም ፈጣን ነው።እንደ ኮሎይድል ሲሊካ ያሉ ዩኒፎርም እና ትልቅ የንጥል መጠን ያላቸው ቅንጣቶችን መጠቀም የከፍተኛ ፍጥነት መጥረጊያ ዓላማን ማሳካት ይችላል።

2. መሳሪያዎችን አይበላሽም እና ከፍተኛ የደህንነት አፈፃፀም አለው.

3. ከፍተኛ ጠፍጣፋ መፍጨት ሂደትን ያግኙ።

4. ከተጣራ በኋላ የወለል ንጣፎችን በተሳካ ሁኔታ ይቀንሱ እና ከተጣራ በኋላ የንጣፉን ገጽታ ይቀንሱ.