Эмне үчүн кремний диоксиди нано порошок CMP үчүн колдонулушу мүмкүн?

Нано-кремний диоксиди салыштырмалуу арзан баага ээ, жана жакшы дисперсиялык, механикалык абразия, жогорку күч жана адгезия, жакшы пленка түзүү, жогорку өткөргүчтүк, жогорку аба ырайы жана эскирүү туруктуулугу, кичинекей бөлүкчөлөрдүн өлчөмү, катуулугу.Ал ошондой эле орточо, аз илешкектүүлүк, аз адгезия жана жылмалангандан кийин оңой тазалоонун артыкчылыктарына ээ.Ошентип, ал мыкты аткаруу менен CMP технологиясы үчүн жылмалоочу материал болуп саналат.

SiO2 нано бөлүкчөлөрү көбүнчө металлды, сапфирди, монокристалл кремнийди, айнек керамикасын, жарык берүүчү түтүктөрдү жана башка беттерди так жылтыратууда колдонулат.нано кремний оксидинин өлчөмү 100нмден төмөн, ал чоң спецификалык беттик аянтка, жогорку дисперстүүлүккө жана өткөрүмдүүлүккө ээ, андыктан жылмаланган иш тетиктин бетиндеги зыян катмары өтө аз;Мындан тышкары, кремний нанобөлүкчөлөрүнүн катуулугу кремний пластинкаларына окшош.Ошондуктан, ал көбүнчө жарым өткөргүч кремний пластинкаларын жылтыратуу үчүн колдонулат.

CMP колдонууда nano SiO2 порошок артыкчылыктары:

1. Жылтыратуу SiO2 жана башка материалдардын бирдиктүү нанобөлүкчөлөрүн колдонуу болуп саналат, ал иштетилген бөлүктөргө физикалык зыян келтирбейт жана ылдамдыгы тез.Коллоиддик кремнезем сыяктуу бөлүкчөлөрдү бирдей жана чоң бөлүкчөлөрдүн өлчөмү менен колдонуу жогорку ылдамдыктагы жылмалоо максатына жете алат.

2. Бул жабдууларды дат баспайт жана жогорку коопсуздук көрсөткүчтөрү бар.

3. Жогорку тегиздик майдалоочу кайра иштетүүгө жетишүү.

4. Натыйжалуу жылмалангандан кийин беттик чийиктерди азайтуу жана жылмалангандан кийин бетинин тегиздигин азайтуу.